470是溶解臭氧测量模块,为半导 体湿法处理和许多其他工业过程设计。它能 够提供去离子水或硫酸中浓度高达150mg/L 的溶解臭氧测量。470已完成“预备清洁”, 能够满足高纯度半导体过程的需求,并且可 简单的直接拼接进任何湿法处理的环流回路 中,最高支持150 SLPM的流量。 470型传感器使用双路取样传感技术,且摆脱了对参比液体测 量的需求。 通常的安装仅仅包括470传感器和特氟龙7包 裹的内部连接电缆。470传感器能够通过模 拟或数字信号向湿法处理过程控制台远程报 告测量的浓度。
技术指标
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测量原理 :紫外吸收法,双路取样传感技术
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紫外光源 :低压汞灯
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测量单位 :ppmw, mg/L
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量程 :高达150 mg/L (150 ppmw)
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精度 :0.5mg/L 或 1%读数 (以较大值为
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准)
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水流量 :高达150 SLPM
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采样端口 :1”, 3/4”, 3/8” Flaretek 连接
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最大压强 :55 PSI
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接触材料 :特氟龙, 蓝宝石, 与半导体流程相容
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外壳 :聚四氟乙烯特氟隆
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尺寸 :5.69” 宽 x 6.8” 高 x 3.2” 长 - 垂直固定 (144 x 171 x 82 mm)
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维护 :紫外灯每24个月替换一次 无其他预定维护
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电缆 :特氟龙外层
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电源 :+15 VDC
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认证 :CE 认证
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模拟输出 :4到20mA或0到5VDC,出厂时选择
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数字 I/O :RS-232 或 RS485,出厂时选择
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远程校零 :通过DB15进行远程零点校准
产品特点